有毒气体报警器到警报是由少量的硅烷气体逃逸掀起,当即燃烧与空气接触。房间的警报被触发,而没有表现出毒性水平,是由于硅烷现已烧尽了,这样说。
学生在第五层相邻的实验室作业,说他们“听到砰的一声”,透过玻璃窗为RM 13-5137化学气相堆积室。他们看见白烟,当即引起火灾报警和退出2个小时后不久。
有毒气体报警器消防部分灵敏做出反应,但没有人能进入了大约两个小时的房间,环境监测,通过硅烷亮光启航,指出水平约为百万分之0.15(ppm)硅烷。该实验室主任说,百万分之5被认为是一个安全的水平,但是他们常常撤离实验室而忽视低浓度的查看,由于正常情况下是不查看的低浓度气体在实验室。
有毒气体报警器相关介绍到,实验室的活动会集在电子材料现在的束缚,特别是束缚在如点材料缺陷的产生,线和面缺陷。
化学气相堆积实验室运用硅烷的硅衬底上堆积硅基半导体层4英寸晶片。这些材料被用于制造电子设备,如那些用于网络开关的运用和其他用途。

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